气体类型 | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2O | 单位 |
原料气 | 0.074 | <0.01 | 0.248 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | 未测试 | ppm |
纯化后 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.033 | ppm |
气体种类 | 产品用途 | 应用领域 |
He | 载气、保护气纯化 | 色谱仪等分析仪器载气 |
Ar | 载气、保护气、吹扫气纯化 | 辉光质谱仪、磁控溅射、纳米材料制备,热处理保护气,氩弧焊吹扫气 |
N2 | 保护气、吹扫气纯化 | 磁控溅射反应气、气路吹扫气 |
H2 | 反应气、保护气纯化 | 材料生长、镀膜反应气、退火保护气 |